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我国开发新型飞秒激光等离子激元光刻技术 可加工石墨烯
2020-05-11 06:23
丨
石墨烯
从中科院长春光学精密机械与物理研究所获悉，来自该所等单位的研究人员，开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术（FPL）。利用该技术，研究人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面实现了高质量微纳周期结构的快速制备。相关成果发表在《光：科学与应用》上。
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