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浸没式光刻之父、前台积电副总林本坚认为中芯国际有可能推进至下一代5nm工艺
2023-10-30 15:54
丨
中芯国际概念
10月27日上午外媒报道，浸没式光刻之父、前台积电副总林本坚认为中芯国际有可能推进至下一代5nm工艺。同日盘前消息，上海微电子申请光刻投影物镜的发明专利进入公示期，该专利申请日为2022年4月12日，申请公布日为2023年10月27日。
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